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陶瓷蝕刻環(huán)是半導(dǎo)體刻蝕工藝的關(guān)鍵部件。當(dāng)選擇鋁合金作為刻蝕腔體材料時,很容易造成金屬顆粒污染。因此,高純度(99.5% 以上)氧化鋁陶瓷被用于制造陶瓷蝕刻環(huán),作為等離子刻蝕設(shè)備的腔體材料。 高純氧化鋁99.7%-99.9
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